捷太格特(JTEKT)已成功開發出,在特殊環境用EXSEV軸承系列中,可耐高溫300℃的潤滑脂封入型軸承。該開發品,使要求耐熱性的半導體制造裝置設備實現了更長使用壽命,為削減客戶的維修費做出了貢獻。
近年,隨著半導體制造流程的縮短,高速運轉的制造裝置內的溫度有變高的傾向。以前的潤滑脂,因為超過了200℃就會導致油分的蒸發,增稠劑因為發生熱分解而不能使用,所以在高溫環境下,只能使用固體潤滑劑,但是由于固體潤滑劑壽命短,保修時間短,因此急需開發出具有更高耐熱性·耐久性的特殊環境用軸承。
本開發品,因使用不容易蒸發的基礎油和強熱分解型增稠劑組合而成的潤滑脂,所以可耐300℃高溫。并且,與以往的固體潤滑劑相比較,壽命延長了6倍以上,大幅度提高了性能,在要求耐熱性的設備領域中,為削減維修費和提高工作效率做出了貢獻。本開發品已經于2018年12月在捷太格特集團旗下的德島工場、國分工場和龜山工場等基地量產,面向全球的半導體制造企業銷售。